AGS168VTSI Gold on 230-330µm silicon substrate. Particles 5-150nm

Tato řada vzorků typu zlaté nebo cínové částice na uhlíkovém nebo křemíkovém substrátu byla vyvinuta pro použití v souvislosti s kalibracemi síly čáry v polovodičovém průmyslu, kde by běžná výška kalibračního vzorku způsobovala problémy. Parametry vlastních vzorků jsou shodné s těmi běžnými standardy odpovídajícího typu, ale jsou připraveny na velmi tenkém uhlíkovém substrátu o síle cca 230 - 330um a rozměrech 7 x 7 mm.

Pro aplikace, kde uhlík není vhodným základním substrátem, se používá jako nosný materiál křemík. Dostupné jsou varianty o tloušťce 500 um a rozměrech 5 x 5 mm, nebo o tloušťce 230u - 330um a rozměrech 7 x 7 mm.

Tento typ vzorku má velikost částic 5 až 150 nm. Každý vzorek má strukturu čtvercové sítě, kde ve středu každého čtverce jsou velké krystaly na okrajích této oblasti jsou krystaly malé. Na stejném vzorku je možné tedy testovat střední i vysoké rozlišení hranic objektů. Větší krystaly umožňují hodnocení dosažitelný rozsah zobrazení úrovní šedi při vysokém zvětšení.

TECHNICKÉ PARAMETRY