HS-500MG AFM XYZ calibration standard, 500nm Z, mounted on 12mm AFM disc
Nákupem tohoto produktu získáte 0 kreditů.
HS-500MG AFM XYZ calibration standard, 500nm Z, mounted on 12mm AFM disc
HS-500MG AFM XYZ calibration standard je určen především pro kalibraci výšky (Z). Je tvořen strukturami SiO2 na křemíkovém chipu 5 x 5mm. Výrobní proces zaručuje excelentní stejnorodost struktury v celé ploše vzorku. Oblast pro kalibrace je umístěna ve středu křemíkové destičky a skládá se z větších čtverců 1x1mm se čtvercovými sloupky a otvory, které mají rozteč10µm. Ve středu tohoto čtverce je umístěn menší čtverec 500x500µm s kruhovými sloupky a otvory s roztečí 5µm.
Tento návrh struktury umožňuje provádět kalibraci pro osy X a Y pro větší skenery v rozsahu 10-40µm. Symetrická struktura vzorku dovoluje provést kalibraci v obou osách v jednom kroku bez nutnosti rotace vzorku mezi kalibracemi os X a Y.
Vzorek se dodává buď připevněný na kovovém AFM disku o průměru 12mm (užívá se elektricky vodivé epoxy), nebo nenamontovaný. Přesná hodnota výšky elementů je uvedena na štítku každého vzorku.