S171 Chessy test speciment
Nákupem tohoto produktu získáte 0 kreditů.
S171 Chessy test speciment
S171 Chessy test speciment
Tento testovací vzorek obsahuje více než 1,6 milionu zlatých čtverců na křemíku, které vytvářejí čtyři úrovně šachovnicového vzoru na ploše 5 mm2. Vzor je přímo zapsán do resistu pomocí elektronové litogtrafie.
Nejmenší šachovnicové pole tohoto vzorku má velikost 10 x 10 um. Tyto nejmenší šachovnice vytvářejí šachovnici vyššího stupně o rozměrech 100 x 100 um, ty formují zase vyšší úroveň šachovnicového vzoru o rozměrech 1 x 1 mm. A tyto čtverce o hraně 1mm formují finální šachovnicový vzor o velikosti 5x5mm. Hrany prázných čtverců ve vzoru 100 x 100 um jsou ještě dodatečně označeny.
Tento testovací vzorek je vhodný pro kalibraci zvětšení SEM v rozsahu 20x až 50 000x. Může být také využit ke kontrole pravoúhlosti a zkreslení na ploše vzorku. Dá se využít i ke kalibraci posunu motorizovaných stolků.