EM-Tec MCS-0.1TR traceable calibration standard 2,5mm to 100nm, mounted on custom stub
Nákupem tohoto produktu získáte 0 kreditů.
EM-Tec MCS-0.1TR traceable calibration standard 2,5mm to 100nm, mounted on custom stub
Micro-Tec MCS-0.1 calibration standard je vyvinut pro přesnou kalibraci SEM, FESEM, FIB, Auger, SIMS a optických mikroskopů v režimu odraženého světla. Je vhodný pro rozsahy zvětšení od 10x do 200000x. Je tvořen přesně nanesenými vzory z chromu pro kalibraci do rozsahu 2,5um. Pro rozsahy 1um a 100 nm se používá obrazec vytvořený pozlaceným chromem. Podkladem je vodivý ultra hladký křemíkový substrát. Velikosti jednotlivých obrazců na vzorku MCS-0.1 jsou: 2,5mm, 1,0mm, 250um, 100um, 10um, 5um, 2,5um,1um,500nm,250nm a 100nm. Řada vzorků EM-Tec MCS-0.1TR má certifikát s naměřenými údaji podle porovnání se standardem NIST. Certifikát je vždy vystaven pro celou skupinu z jedné křemíkové desky (wafer). Dodávají se buď bez nosiče, nebo namontované na nejběžních typech nosičů preparátů.
Nabízíme také možnost dodání individuálně certifikovaného standardu.
Základní technické údaje:
| Substrate | 525µm thick boron doped ultra-flat wafer with <100> orientation |
| Conductive | Excellent; 5-10 Ohm resistivity |
| Pattern size | 2.5 x 2.5mm |
| Features MCS-1 | 2.5, 1.0, and 0.5mm 250, 100, 10, 5, 2.5 and 1µm |
| Features MCS-0.1 | with additional 500, 250 and 100nm |
| Features material | 50nm Chromium for feature sizes 2.5mm to 2.5µm 50nm Gold over 20nm Chromium for size 1µm to 100nm |
| Traceable uniformity | 0.2% or better |
| Certified uniformity | 0.03% |
| Traceable uncertainty | 0.7% or better |
| Certified uncertainty | 0.09% |
| Traceability | Wafer level NIST traceability; average date measured on each production wafer |
| Certified | Optional; each certified EM-Tec MCS standard is individually calibrated against a NIST measured standard |
| Application | SEM, FESEM, FIB, Auger, SIMS and reflected light microscopy |
| Identification | Product ID with serial number etched |
| Mounting | Unmounted, mounting optionally available |
| Supplied | Supplied in a Gel-Pak box |
Tento kalibrační standard je možné dodat také na nosiči vzorků podle speciálních požadavků uživatele. V takovém případě musí zákazník dodat příslušný nosič preparátů pro SEM.