S1997A Critical Dimension calibration specimen, 10-5-2-1-0,5um, certified
Nákupem tohoto produktu získáte 0 kreditů.
Takovýto CD testovací vzorek je vhodný pro pracoviště s vysokorozlišovacími řádkovacími mikroskopy a také při měření kritických vzdáleností v polovodičovém průmyslu. Vzorek má rozměry 4,8 x 4,8mm. Je tvořen řadou šachovnicových polí podél jeho stran, každé pole má rozměry 480 x 480 um. Ta jsou užívána ke kontrole zkreslení a k optimalizaci parametrů. Střední část vzorku obsahuje řadu polí se zobrazením pěti čárových vzorů. Každý z nich je tvořen pěti čarami a roztečemi, které jednotlivých čar o přesně stanovených rozměrech.
Tento vzorek má struktury čar o roztečích 10, 5, 2, 1, a 0,5 um Centrální část může být také využita mikroskopy AFM. Vzory jsou vyleptány do základového křemíku. Není aplikováno žádné pokovení.
Každý vzorek má unikátní seriové číslo.
Vzorky mohou být dodávány ve stavu "bez montáže", nebo připevněné na libovolný typ nosiče ze sortimentu nosičů vzorků podle požadavků zákazníka
Vzorek je certifikován v German Physikalich-Technische Bundesanstalt.