Micro-Tec MTCD-5 Dark field multiple target calibration standard with 4 patterns, mounted on 25mm JEOL stub
Nákupem tohoto produktu získáte 0 kreditů.
Micro-Tec MTCD-5 Dark field multiple target calibration standard with 4 patterns, mounted on 25mm JEOL stub
Micro-Tec MTCD-5 Dark field multiple target calibration standard with 4 patterns je tvořen tak, že na podklad, kterým je vodivý ultra hladký křemíkový substrát, je nanesen chrom a příslušné obrazce jsou vykryty maskou, takže jsou tvořeny nepokrytým křemíkovým substrátem. MTCD-5 je navržen pro kalibraci optických mikroskopů, stereo mikroskopů, optických systémů pro kontrolu kvality a elektronových mikroskopů SEM v režimu LM (low mag). Je určen pro práci v tmavém poli (dark field).Tento vzorek obsahuje 4 testovací obrazce:
- Soustředné kruhy s průměry 10um až 5mm
- Čtverce s rozměry 10x10um až 5x5mm
- Šestiúhelníky s rozměry 10um až 5mm
- X,Y stupnici 5 x 5mm s dělením 0,01mm.
Tyto čtyři vzory z naneseného chromu jsou ve stejné fokusační rovině a v porovnání s leptanými vzorky produkují silnější signál. Každý exemplář má vyleptané unikátní seriové číslo a má kalibrační certifikát NIST.
Základní technické údaje:
| Substrate | 525µm thick boron doped ultra-flat wafer with <100> orientation |
| Conductive | Excellent; 5-10 Ohm resistivity |
| Patterns | Circles, squares, hexagons, cross scale |
| Pattern size | 5 x 5mm (4x) |
| Lines | 75nm thick, pure bright Chromium lines |
| Cross scale | 5mm wide lines, 5 x 5mm with 0.01mm divisions |
| Die size | 12 x 12mm |
| Application | Reflective light, scanning electron microscopy, optical imaging systems |
| Identification | Product ID with serial number etched |
Tento kalibrační standard se dodává na válcovém SEM nosiči vzorků JEOL Ø25mm.