MAG*I*CAL traceable TEM magnification calibration standard, 1.000 to 1.000.000 x, on Ti TEM disc incl. Manual

Úvod do problematiky

Pro generování správných zobrazovacích dat je nezbytný přesně kalibrovaný TEM. S registrovaným kalibračním standardem MAG*I*CAL lze TEM přesně kalibrovat. Kalibrační standard MAG*I*CAL s návazností na TEM se skládá ze 4 sad 5 vrstev SiGe o tloušťce ~10nm, které se střídají s vrstvami čistého křemíku o tloušťce ~13nm. Celková tloušťka sady střídajících se vrstev je ~100 nm. Vzdálenost mezi každou sadou 5 vrstev je ~1,2 µm. Epitaxní vrstvy se pěstují pomocí procesu MBE (Molecular Beam Epitaxy) na substrátu z monokrystalu křemíku {001}. Hotový kalibrační standard je TEM kalibrační vzorek s průřezem se čtyřmi oblastmi, kde lze zobrazit kalibrační čáry.

Jedinečný kalibrační standard zvětšení MAG*I*CAL TEM lze použít ke kalibraci:

• TEM v celém rozsahu od 1000x až po 1 000 000x zvětšení se střídajícími se liniemi
• Konstanty kamery (Camera Length) pomocí monokrystalu Si
• Posouzení rotace obrazu / difrakce pomocí oblasti monokrystalu Si

Čtyři sady střídajících se vrstev Si a SiGe poskytují světlé a tmavé linie s dobrým kontrastem. Tyto čtyři sady střídajících se vrstev jsou kalibrovány pomocí transmisního elektronového mikroskopu s vysokým rozlišením (HR-TEM) s odkazem na {111} mezirovinnou vzdálenost křemíku (0,3135428 nm) měřený na monokrystalovém substrátu kalibrace MAG*I*CAL Standard. Tato metoda poskytuje nepřerušenou sledovatelnost základní přirozené konstanty; mřížková konstanta křemíku.

Dodáváno na 3mm titanovém kotouči, včetně manuálu kalibrace "Traceability of the MAG*I*CAL calibration reference standard".

Kalibrační referenční standard MAG*I*CAL je vyroben z monokrystalického křemíkového plátku, a tak zahrnuje základní přírodní konstantu do samotného standardu; konstanta krystalové mřížky křemíku. Všechny kalibrační značky na standardu se přímo vztahují k této přirozené konstantě. Kalibrované hodnoty může uživatel ověřit pozorováním obrazu krystalové mřížky křemíkového substrátu a ověřením kalibrovaných hodnot.

Instituty přirozené metrologie (NMI), jako je NIST v USA, NPL ve Spojeném království a PTB v Německu atd., certifikují měření jako návaznost na základní přírodní konstanty, ale necertifikují přirozené konstanty. Kalibrační referenční standard MAG*I*CAL nevyžaduje certifikaci NMI, protože kalibrace je přímo návazná na přirozenou konstantu dostupnou na samotném standardu (rozteč krystalové mřížky křemíku) a všechny kalibrované hodnoty může uživatel ověřit. Rozteč krystalové mřížky je vnitřní vlastností materiálu. U čistého křemíku byla vzdálenost krystalové mřížky dobře charakterizována a zdokumentována vědeckou komunitou. Je známo na více než 8 desetinných míst: 0,313560136 nm. Tuto hodnotu lze získat z nedávné příručky CRC Handbook of Chemistry and Physics a mnoha dalších odkazů.

Vzorek je pod elektronovým svazkem velice stabilní.

TECHNICKÉ PARAMETRY